该例子来自五湖四海华北中南部的一家玄幻半导体存储芯片制做工业工业企业,最主要出产集成型电路板存储芯片。在出产阶段中,晶圆清洁、蚀刻等工艺程序需用不少网上级磷酸(饱和度≥85%),形成形成高酸度含磷化工废水。工业工业企业原先净化处理安全设施时未满意日益增长严厉的尾气排放规范规范(TP≤0.5mg/L),急求发展改装。
废污水化学物质及特征
废污水其主要从何而来于三种要素:晶圆洁净废污水(占总水流量60%)、设配清洗道路废污水(30%)或者室内地面清洗道路废污水(10%)。饮用水的特点的表现为:pH值1.5-2.5,总磷氧化还原电位800-1200mg/L,氟铁离子水分含量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并包含氢化物发生器天价属(铜、锌等)。
整理生产工艺具体步骤
顶目采取"预外理+电学奠定+专业氧化的+深层次过滤器"的结合鑫霖环保:
调池
:营养均衡水的质量出水量,拥有pH同屏在线污染监测机系统
考试内容一级不起作用池
:加药系统生石灰乳设定pH至8.5-9.0,演变成Ca3(PO4)2滤渣
2级化学反应池
:增多PAC和PAM加强斜管沉淀池视觉效果
斜板放置池
:改变固液转移,污水进行过滤系统
Fenton腐蚀第一单元
:H2O2与Fe²⁺携手帮助化学降解有机会物
多物料过虑器
:石英石砂+渗透性炭搭配筛选,事关冒水清冽
阳离子对调体统
:进步骤祛除残留铝合金化合物
最后成果
系统性正常开机运行稳定性后,出水出水水硬度:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟铝离子≤5mg/L,基本指标值相对比较《自动化制造业水破坏物排出原则》(GB 39731-2020)。常年少磷排出约15吨,飞灰导致量较过去加工过程调低40%,正常开机运行成本投入调控在8.3元/吨水。