该晶圆加工厂是在华东各地各地,核心研发8英尺光电器件晶圆,日访问量废水处理方法排污量约800吨。因此研发的过程中操作丰富氢佛酸展开晶圆蚀刻,造成的废水处理方法中氟化物氨水浓度高达模型200-300mg/L,远超我国排污标淮(10mg/L如下)。
废气因素及收入
焦化废水基本产于6个部门:
晶圆蚀刻工艺程序
:含高盐浓度氟化物(HF)、硝酸银及一些血本属
化学工业机械化cnc精密机械加工(CMP)废水处理工艺
:含微米级硅粒状、巧妙络合剂
设施清理化工废水
:含异丙醇、氟化物等设计物
办理施工工艺步骤
主要包括"物理化学沉淀物中物+混凝土沉淀物中物+强度过虑"二级正确处理系统化:
一级通过成绩治理
:加药氯化钙和氢钝化钙,形成了氟化钙结晶,氟化物取除率达85%
五级治理
:填加PAC(配位聚氯化铝)和PAM(聚丙烯塑料酰胺),避开电解质溶液态环境破坏物
二级正确处理
:凭借多物质过滤水器和亲水性炭树脂吸附,冒水氟化物浓度值相对稳定在8mg/L这
的关键设施具有:pH自然调结系统的、斜管石雕文化沉砂池、板框过滤机(淤泥脱水过滤)。
终极效用
产品运动六年评估数据资料提示:
氟化物峰值溶度:7.2mg/L(降到祖国标准化)
COD出掉率:92%
淤泥水分含量率:≤65%
年回报氟化钙副品牌约150吨,达成影视循环经济进行