某半导体芯片厂在分娩全过程中安全使用盐酸系定影液，导致高溶度含NOx废水办理，日办理量50吨。废水办理中含NO2-可高达2000mg/L，且所含进样器生产光刻胶成分表，办理关卡较少。 2. 废气材料及渠道 定影工艺流程废弃物（其主要造成的室外空气污染物） 晶圆洗涤废水处理工艺 有机废气洗涤剂塔排水道 3. 除理工艺设计流程图 用到"二级氧化物+两极生物学加工"科技创新工序： 二空气氧化碳空气氧化 ：按照臭氧杀菌出现器出现O3，将难化学降解可挥发物降解为小大分子有害物质，与此同时将NO2-氧化反应为NO3-。 生物技术膜影响器（MBR） ： 第一个级：缺氧攻略的环境下加药系统甲醇最为碳源，利于反反硝化作用反應 然后级：好氧生物工程膜进1步分解有机会物 电检查是否深浅加工处理 ：采取钛基表层探针，经过电解设备能力彻底清除化解稳定度危害物。 4. 决定性实际效果 NOx总氮减少为8mg/L左右 COD动态平衡在30mg/L以里 工业废水使用率达60% 软件运动能耗掌握在3.5kWh/吨水，较传统意义工艺流程环保节能20%。